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采用 7.5 倍变焦机构和 115mm 工作距离， 同步支持视频观察和图像拍摄的三目镜
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使用Sensofar专有技术开发的NEOX光学轮廓仪，集成了共聚焦技术和干涉测量技术，并具有薄膜测量能力，改系统可用于标准的明场色彩显微成像、共焦成像、三维共焦建模、PSI、VSI以及高解析度薄膜度测量 产品特性：表面形貌观察、金字塔型结构测量以及自动分析、全表面积的面积计算、白光干涉测量功能、可量测表面粗糙度
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NIKON VMA-2520V/VMA-2520/VMA-4540V/VMA-4540/VMA-6555V/VMA-6555
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NIKON VMZ-R 3020/VMZ-R 4540/VMZ-R 6555
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主要选购件：※倾斜旋转马达驱动样品台 ，倾斜：-15°~+45°、旋转360°※EDS能谱仪