使用Sensofar专有技术开发的NEOX光学轮廓仪，集成了共聚焦技术和干涉测量技术，并具有薄膜测量能力，改系统可用于标准的明场色彩显微成像、共焦成像、三维共焦建模、PSI、VSI以及高解析度薄膜度测量
产品特性：表面形貌观察、金字塔型结构测量以及自动分析、全表面积的面积计算、白光干涉测量功能、可量测表面粗糙度