1.主机构成:
W靶材
* 比例计数管
* 一次滤波器+数位滤波器
* 准直器SFT-110
(Ф0.05mm,0.1mm,0.2mm,0.025*0.4mm)
* 三维电动样品台
* CCD摄相机
* 激光对焦
2.X-Ray Station 1式
* 测量软件:薄膜分析检量线法+薄膜分析FP法
* 能量强度自动校正功能
* 完整中文操作手册
* Excel报告导出功能
3.附件配置1式
4.一年保修1式
5.运输和包装费用1式
6.标准片（選配）
技术参数：
Ｘ射线照射方向：上方照射式
测量元素：Ti～Bi
测定环境：大气
Ｘ射线发生部：空冷小型Ｘ射线管球
管电流：最大1000μA 可变
１次滤波器：滤波器ON、OFF的２种类（自动切换）
Ｘ射线检测部：比例计数管
测定面积：φ0.05、φ0.1、φ0.2、0.025×0.4mm
最大样品质量：0kg最大样品面积：长500mm、宽400mm、高150mm
电动XY样品台驱动 移动范围：250×200mm
重复再现性：±5μm
速度：40mm/sec